阴极发光是一种光谱分析方法，通过电子（zǐ）束轰击材料产（chǎn）生发光（guāng）后，用来在（zài）局（jú）部范（fàn）围内（nèi）鉴别材（cái）料中的点缺陷和杂质缺陷（xiàn），应用于微电子，半导体材料（liào），绝缘体（tǐ），地质学和矿物（wù）学等（děng）领域。